中圖儀器SuperViewW中圖精密光學粗糙度輪廓一體機以白光干涉技術為原理,，能以3D非接觸方式,，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸，典型結果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度,，臺階高度，錐角等等）,；

幾何特征（關鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積,，特征圖形的位置和數(shù)量等等）,。

SuperViewW中圖精密光學粗糙度輪廓一體機也叫白光干涉儀、光學3D表面輪廓儀,，廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領域中,，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等參數(shù),。

產(chǎn)品功能

(1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能,；

(2)測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

(3)測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能；

(4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結構分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

應用領域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例：

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度,、大掃描范圍的需求,，SuperView W的復合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小,、垂直法VSI精度低的雙重缺點,。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點,，即可自動掃描,，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙,。

其特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

性能特色

1,、高精度,、高重復性

1）采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高,；

2）隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復性,；

2,、環(huán)境噪聲檢測功能

具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,，在設備調(diào)試,、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。

3,、精密操縱手柄

集成X,、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦、找條紋等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器,，當鏡頭觸碰到樣品表面時,，儀器自動進入緊急停止狀態(tài)，最大限度的保護儀器,，降低人為操作風險,。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。

部分技術指標

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。